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為便于供應商及時了解政府采購信息，根據《財政部關于開展政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔2020〕10號）等有關規定，現將國家納米科學中心2024年1至12月政府采購意向公開如下：
| 全自動真空鍍膜設備 | |
| 項目所在采購意向： | 國家納米科學中心2024年1至12月政府采購意向 |
| 采購單位： | 國家納米科學中心 |
| 采購項目名稱： | 全自動真空鍍膜設備 |
| 預算金額： | 1280.000000萬元(人民幣) |
| 采購品目： | A02100699其他試驗儀器及裝置 |
| 采購需求概況 ： | 國家納米科學中心承擔多項極限納米加工方面相關的國家科研項目。高質量納米薄膜制備是納米加工的核心技術之一，而前沿研究對薄膜均一性/致密性調控及其與極限尺寸/質量的納米結構關聯制備工藝匹配方面提出了更高要求。因此擬購置全自動真空鍍膜設備，用于制備高均一性/致密性的金屬及介質薄膜。該設備操作系統需支持全自動控制，工件臺結構兼容8英寸及以下晶圓和厘米級碎片裝卸，具有低的背底極限真空，具有除氣-預清潔原位去除有機殘留物/自然氧化層功能。 |
| 預計采購時間： | 2024-02 |
| 備注： | |
